台硕检测设备（苏州）有限公司
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用于测量轮廓形状和表面粗糙度的复合测量机一机两用，可 iB 以缩短设置工时和测量时间
®自主知识产权的国内首创技术：采用光栅传感器同时满足粗糙度与轮廓尺寸的测量
®利用干涉扫描光栅尺，分辨率可达lnm,可满足超高精度的测量
®超高分辨率传感器可同时满足粗糙度与轮廓尺寸的测量，测量过程中无需更换传感器
◎大量程与高精度同时兼容，可满足弧面、柱面、自由曲面等不规则表面粗糙度与尺寸的一体式测量
©特有的粗糙度评价算法与位置补偿方法，有效更正和补偿被测面是非平面的测量误差，
有效保证测量曲面、弧面工件粗糙度与平面粗糙度一样高精度和高准确度
©无需数学方法修正、接近零摩擦系数的导轨，可长久保持高精度测量基准，精度始终如一
©自定义模板，批量测量，自动标注
£2) 产品技术规格 Product specifications
型号 | TS-RP100 TS-RP150 TS-RP200 TS-RP300 | |
| X轴（横导） | 100mm 150mm 200 mm 300mm |
Z1轴（传感） | 40mm 50 mm 60 mm 60 mm | |
Z轴（立柱） | 450mm 500mm 500 mm 500 mm | |
最小内孔 | 30mm （更小孔径可定制） | |
轮廓 测量精度 | 线性精度： | <±(l+|0.12H| ) pm |
圆弧精度： 角度精度： | W±（1.2+R/8）, （2mm< R< 10mm的标准球，取样圆弧夹角为120°） <±1.5, （60°、90的角度块，角边取样长度为5mm） | |
粗糙度部分 | 残值噪声 | <0.005pm |
重复性 | 15<2nm | |
示值误差 | ±5% | |
稳定性 | W±7% | |
传感器 | 美国MicroE光栅传感器，分辨率O.lum和0.05um | |
评定长度 | 入cX3、4、5、6、7 | |
截止波长 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
爬坡角度 | 上升77°,下降88° | |
测量速度 | 0.02m m 〜4.0mm/s | |
测量方式 | 传感器移动 | |