台硕检测设备（苏州）有限公司
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度高：最小间距分辨率高达O.OOlpim
? 800pm\5mm\20mm大量程传感器，测力小精度高、数据重复性好
?无导头式天然钻石触针，使用范围广，操作更方便
?软件可自动校正精度、确保仪器在线保持高精度工作状态
o8)产品技术规格 Product specificatiions
型号 | TS-R100 |
X轴（横导） | lOOmm,直线度=0.8nm/l00mm |
测量范围 zi轴（传感） | 20mm |
Z轴位柱） | 400mm |
线性精度 | W± (0.8+0.2L/100) pm |
Zl轴精度 | W （0.8+|0.2H|/l00） gm； （L=X轴移动导轨距离，H=Zl轴方向测量高度） |
测量精度 残值噪声 | W0.005um |
示值误差 | W±(5nm+0.lA) |
重复性 | W±3% |
传感器 | 光栅传感器，分辨率0.00l|im |
评定长度 | 入 cX3、4、5、6、7
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